Advances in resist technology and processing V - 29 February - 2 March 1988, Santa Clara, California
- Författare
- (Scott A. MacDonald, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | USA, Bellingham | viii, 449 sidor. |